第12章 以後我的名字倒過來寫
“他在方案中提到了一種名為等離子能量微投影系統的思路,這種方法能夠降低對高精度光學元件的依賴。根據他的計算,我們的工業級激光系統經過一定改裝後,可以在現有條件下模擬高精度投影效果……”
一開始,趙鴻德和李明嶽等人仍然是一副不屑一顧的表情,但隨著許雲川的講解逐漸深入,他們的表情開始變得微妙起來。
“等等,”陳國棟院士打斷了許雲川的話,皺著眉頭說道。
“等離子能量微投影系統?這確實是一個新思路,如果他算得沒錯的話,這種替代方案理論上是有可能的。”
“再說說他提到的工業改裝部分,”周曉峰院士推了推眼鏡,神色變得認真起來。
“你是說,他用現有工業激光器替代高端光刻光源?這……他的分析模型裡有這麼高的精度嗎?”
許雲川點頭,繼續講解方案中的內容,尤其是林奕對光刻機核心部件的簡化設計,以及對工業激光設備的替代應用。
隨著講解的深入,幾位院士的表情漸漸從輕視變成了震驚,甚至有人忍不住低聲驚歎起來。
“這小子的腦子……怎麼這麼好使?”張志輝忍不住說道,“他一個本科生是怎麼想到這些的?這些替代思路太巧妙了!”
“是啊,這種思路完全跳出了我們的常規框架,我還以為這只是一個學生的空想,沒想到竟然有這麼高的邏輯性和可行性。”李明嶽點頭,語氣中透出幾分佩服。
“如果這個方案真能實現,我們在光刻機技術上的進展馬上就可以彎道超車了!這小子絕對是個天才!”陳國棟也忍不住讚歎道。
“許老師,我承認,剛才是我小瞧了這個學生的能力。如果這個方案真能付諸實踐,那他確實有資格讓我們重新認識他。”最後,連一開始最不看好的趙鴻德都忍不住點頭。
“……這一步,按照他的思路,確實可以繞過高端光學設備的瓶頸,直接利用工業激光器進行替代。雖然精度略有損失,但完全可以通過後期的校準來補足。”許雲川指著屏幕上的設計圖,語氣肯定地說道。