五星造事包 作品

第121章 三大件的解決方案

 現在光刻的光有了,

 下一步就是把光,通過一個光學系統,收集並投影到塗上了光刻膠的硅片上面。

 這個光學系統,也是整臺光刻機中,造價成本佔比最大的。

 這部分康馳準備對大秦光學的鏡頭生產線,進行升級,然後把它給拆了,直接獲得光刻機鏡片和反射鏡製造,所需要的大部分設備零件。

 這麼做的效率無疑會高很多,

 而且升級後的生產線,估計連解析項目都沒有,

 因為裡面的大部分技術,康馳在解析光刻機的時候,就已經得到了,他本人擁有非常大的解釋空間。

 唯一的缺點就是,需要他在接下的項目中,進行一定的混淆視聽,把這些拆分開的組件,神不知鬼不覺地摻到整個項目裡去。

 嗯,

 就是欺負嚴輝他們對光刻機沒啥研究,

 到時候估計也是康馳讓他們幹什麼,他們就幹什麼,思考空間並不多。

 至於光刻機最後的一個關鍵系統,則是承載硅片的雙工件臺系統。

 它的工作原理很簡單,就是在光刻中不斷的挪動硅片的曝光部位,但其中的技術含量其實非常大。

 因為這個工作平臺必須快、準、狠。

 速度,決定了光刻機的效率,

 移動太慢了,光刻機的產量就不行,

 這就要求它,在高速移動後,還得迅速且精準地停下,

 停留的位置誤差,還得在1nm以內,

 但凡偏差大一點,整個晶圓就直接報廢了!

 這啥概念?

 大概就是一輛高速行駛的汽車,突然緊急剎停,然後停下位置誤差還不能超過1毫米。

 不過這個難點,在今年5月份的時候,剛好被鉿工大給搞定了,

 他們研發出來的真空高速超精激光干涉儀,位移的分辨率達到了驚人的5pm,位移誤差控制在了30pm!

 要知道,1000pm才等於1nm!

 0.03nm的位移誤差,簡直牛逼到不行!

 康馳簡直懷疑,他們是不是和自己一樣開了掛……

 講真,華國能人還是挺多的,

 如果不靠系統,康馳自己雖然也有一定的把握可以攻克這種技術,但時間就不知道要多久了……

 所以康馳一直也不斷地在提醒自己,雖然系統確實好用,但自己學習和理解的腳步同樣不能停下。

 這不但是為了在解析技術的時候,減輕自己的痛苦,免得突然暴斃,更是為以後萬一出現精通點不夠,需要自研的情況出現時,不至於兩眼一抹黑啥也幹不了。