第83章 現在就拆給你看！

 嚴輝點了點頭，帶著研究員們調配好拋光液，然後重新進行了一次實驗。

 “平整度5.9nm rms。”

 看到這個結果，原本還有點小期待的嚴輝，不由露出一抹失望的神色。

 但康馳卻依然不為所動，又報出了一組拋光液配比，讓他們重新進行第三次實驗。

 “平整度5.9nm rms。”

 5.9？

 還是5.9？！

 是巧合嗎？

 雖然5.9顯然是遠遠不達標的，但嚴輝卻似乎意識到了什麼，有些驚訝地轉頭看向康馳。

 “你……計算好的？”

 “算是吧。”

 康馳點了點頭。

 這下嚴輝徹底呆住了，

 要知道，化學機械拋光的技術難點，除了拋光設備的硬件要達標之外，還要根據設備性能、硅片參數，來調配化學拋光液，以達到化學拋光和機械拋光的完美配合。

 要想調試得好，首先就需要對設備瞭如指掌，其次這是豐富的拋光液調配經驗。

 但康馳僅僅只是通過一次實驗演示，就能看似輕鬆地報出兩組不同成分的拋光液，並在後續的實驗中，達到同一數值的平整度……

 這多少有點匪夷所思了吧？

 哪怕是已經參與過無數次測試的嚴輝，在沒有經過計算機模擬的情況下，也絕對做不到如此精準的控制，

 估計誤差至少得有個0.3nm rms。

 他有些難以置信地問道：“你到底是怎麼做到的？”

 “嗯，我也說不上來……可能是某種直覺吧，我這人對機械的東西，敏感度還挺高的。”

 康馳思索了片刻，又接著說道，

 “我估計你這臺拋光機，能穩定發揮的正常水平，應該就是3.0nm rms左右，2.6nm rms只是你們因為偶然因素才意外達到的，肯定不會超過三次。”

 嚴輝再次愣了愣，顯然是被康馳猜中了。

 “確實，只有一次……”

 康馳本來還想說點什麼，結果肚子都已經餓得咕咕叫了，

 看了看時間，發現三輪實驗過後，竟然已經不知不覺都到了晚上八點。

 “不好意思，一個沒注意都這這麼晚了……大家趕緊收拾收拾，先去吃飯吧，今天辛苦你們了。”

 “嗯。”嚴輝點了點頭道，“那大家吃完飯，九點再回來繼續。”

 “回來繼續？”康馳不由露出了奇怪的表情，“繼續幹嘛？”