第83章 現在就拆給你看!
嚴輝點了點頭,帶著研究員們調配好拋光液,然後重新進行了一次實驗。
“平整度5.9nm rms。”
看到這個結果,原本還有點小期待的嚴輝,不由露出一抹失望的神色。
但康馳卻依然不為所動,又報出了一組拋光液配比,讓他們重新進行第三次實驗。
“平整度5.9nm rms。”
5.9?
還是5.9?!
是巧合嗎?
雖然5.9顯然是遠遠不達標的,但嚴輝卻似乎意識到了什麼,有些驚訝地轉頭看向康馳。
“你……計算好的?”
“算是吧。”
康馳點了點頭。
這下嚴輝徹底呆住了,
要知道,化學機械拋光的技術難點,除了拋光設備的硬件要達標之外,還要根據設備性能、硅片參數,來調配化學拋光液,以達到化學拋光和機械拋光的完美配合。
要想調試得好,首先就需要對設備瞭如指掌,其次這是豐富的拋光液調配經驗。
但康馳僅僅只是通過一次實驗演示,就能看似輕鬆地報出兩組不同成分的拋光液,並在後續的實驗中,達到同一數值的平整度……
這多少有點匪夷所思了吧?
哪怕是已經參與過無數次測試的嚴輝,在沒有經過計算機模擬的情況下,也絕對做不到如此精準的控制,
估計誤差至少得有個0.3nm rms。
他有些難以置信地問道:“你到底是怎麼做到的?”
“嗯,我也說不上來……可能是某種直覺吧,我這人對機械的東西,敏感度還挺高的。”
康馳思索了片刻,又接著說道,
“我估計你這臺拋光機,能穩定發揮的正常水平,應該就是3.0nm rms左右,2.6nm rms只是你們因為偶然因素才意外達到的,肯定不會超過三次。”
嚴輝再次愣了愣,顯然是被康馳猜中了。
“確實,只有一次……”
康馳本來還想說點什麼,結果肚子都已經餓得咕咕叫了,
看了看時間,發現三輪實驗過後,竟然已經不知不覺都到了晚上八點。
“不好意思,一個沒注意都這這麼晚了……大家趕緊收拾收拾,先去吃飯吧,今天辛苦你們了。”
“嗯。”嚴輝點了點頭道,“那大家吃完飯,九點再回來繼續。”
“回來繼續?”康馳不由露出了奇怪的表情,“繼續幹嘛?”