第五百八十九章：自主

 利用激光等離子體產生極紫外光源，將強激光脈衝投射到液態錫滴上。

 激光會粉碎液態錫滴，在撞擊過程中產生極紫外脈衝光，並在經過複雜的濾波和聚焦後，產生功率約250瓦的極紫外光源。

 而在到達芯片之前，這極紫外光束要經過11個鏡子的反射，每個鏡子都會損失30%的能量，因此光束到達晶圓時的功率小於五瓦。

 雖然現在看這個光源製造十納米制程的芯片，可以說是手到擒來，只要技術規格和設備精度達到了，很快就能夠製造出來。

 但是這種光源在製造五納米以下的3納米、4納米的芯片時，就會成為一個老大難的問題，因為能量不夠集中，不夠精密。

 當然，現在臺積電和高麗韓星電子的半導體芯片製程都已經變成了他們兩家公司自己設定的規格，而非真正意義上的物理規格製程，所以我估計這一天會來得比較晚，至少十年之內不會有光源問題。

 但這也只是比較晚，而並非徹底解決了問題。”

 說到這裡，周瑜的話語頓了頓。

 “但穩態微聚束技術避免了這個問題。穩態微聚束光束實現了一千瓦的更高輸出功率，加上它帶寬較窄，需要更少的反射鏡，因此可以產生更高的終端功率。

 我們現在正設計一個功率高於一千瓦穩態微聚束極紫外光源，只要等咱們這邊的電子對撞試驗場地和設備建成，還有一些關鍵技術成熟，或許設計的藍圖，將會很快成為現實中的設備。”

 聽到周瑜的“畫餅”，鄒王振教授和他身旁的三位博士生都有些心嚮往之。

 而且除了畫餅之外，周瑜還帶著鄒王振教授一行人參觀了一些不算技術核心的數據和模型推導成果，展示了新科半導體光學團隊為將穩態微聚束技術進行落地實踐和技術成果未來轉化，所做的努力。

 當然，除此之外，周瑜也對鄒王振教授一行人直言：“咱們大夏聯邦的光刻機自主研發之路，還有很長的路要走。